Спецификации
На предприятии разрабатываются типовые спецификации на следующие типы пластин со структурами на основе сквозных каналов р-типа, изготовленные по топологии заказчика:- Кремниевые пластины с кольцевыми сквозными каналами р-типа.
- Кремниевые пластины с точечными сквозными каналами р-типа (TSV - пластины).
- Кремниевые пластины со смешанным типом топологии сквозных каналов р-типа.
