АО «ВЗПП-Микрон» выполняет имплантацию ионами бора, фосфора, сурьмы или мышьяка. Имеющееся оборудование позволяет выполнять процессы с энергией ионов от 15 до 100 КэВ и дозой легирования от 0,05 мкКл/см2*. Используется штатная оснастка для обработки пластин диаметрами 76, 100, 150 мм и толщиной до 900 мкм. Для образцов меньшего диаметра возможно изготовить переходную оснастку.
* В таблице ниже приведены данные о количестве пластин в одной загрузке в зависимости от дозы легирования и диаметра пластин.
| Вещество | Доза от | Максимальная загрузка пластин в процессе, шт | |||
|---|---|---|---|---|---|
| мкКл/см2 | ион/см2 | Ø76 мм | Ø100 мм | Ø150 мм | |
| Фосфор | 0,1 | 6,25E+11 | 84 | 84 | 24 |
| Фосфор | 0,05 | 3,125E+11 | - | 24 | 24 |
| Сурьма |
100 |
6,25E+14 | 84 | 84 | 24 |
| Мышьяк | 100 | 6,25E+14 | 84 | 84 | 24 |
| Бор | 10 | 6,25E+13 | 96 | 96 | 30 |
| Бор, BF2 | 0,05 | 3,125E+11 | 54 | 27 | 24 |