Изготовление КИЛС

Кремниевые ионно-легированные структуры (КИЛС) – это заготовка для подложек со скрытыми слоями, применяемых в изготовлении биполярных интегральных микросхемах. Наше предприятие может изготовить КИЛС диаметрами 76, 100 и 150 мм, с сформированными слоями n и p типов проводимости по шаблонам заказчика, легированные Sb(сурьмой), Р(фосфором) и В(бором). Параметры скрытых слоев согласовываются отдельно.