Металлизированные шаблоны – как инструмент при изготовлении микросхем. АО «ВЗПП-Микрон» изготавливает фотошаблоны в соответствии с ниже указанными параметрами.
1. Рабочие шаблоны (железоокисные), размеров 102х102 и 127х127 мм, толщиной 2,6±0,4 мм. Минимальный размер элемента 1,8 мкм, рассовмещение в комплекте не более 1,0 мкм.
2. Проекционные шаблоны (хромированные, железоокисные) размером 127х127 мм и толщиной 2,6±0,4 мм. Минимальный размер элемента 4,0 мкм.
Дополнительно для проекционных шаблонов возможна постановка или восстановление пелликлов (рамка из оргстекла с тонкой плёнкой коллоксилина) для защиты от загрязнений.