Наше предприятие имеет большой опыт по напылению металлических и силицидных пленок на пластинах диаметрами 76, 100 и 150 мм. Стандартные технологические процессы включают в себя напыление пленок толщинами до:
| Материал мишени | Толщина, мкм | Материал мишени | Толщина, мкм | |
| Al | 11 |
|
Mo | 0,5 |
| AlSi1 | 11 |
|
Cr | 0,5 |
| AlTi1Si0,5 | 11 |
|
TiW15 | 0,5 |
| AlTi0,5 | 11 |
|
Pt | 0,1 |
| AlNi1 | 5 |
|
MoTi7 | 0,5 |
| AlSi1Cu0,5 | 5 |
|
NiCr | 0,5 |
| Ti | 1 |
|
SiNiCr | 0,5 |
| Ni | 0,5 |
|
Кроме этого, используя различные комбинации мишеней в одном процессе, возможно напылять пакеты пленок: Ti-Ni-Ag, Pt-Ni, TiW15-Al, Al-Ti, Al-Ni, Al-Ag.
Для пластин диаметром 200 мм возможно выполнить процессы напыления пленок Al, Ti, Ni и Ag.