АО «ВЗПП-Микрон» предоставляет услуги по механическому утонению кремниевых монокристаллических пластин диаметром 76, 100 и 150 мм. Исходная толщина пластины вместе с защитным покрытием не должны превышать 900 мкм.
В процессе утонения возможно достичь минимальной толщины пластины вместе с защитным покрытием для диаметра 76, 100 мм – 300 мкм и для 150 мм – 400 мкм. В результате обработки пластин возможно получить поверхности с шероховатостью (Ra) равной 10±5, 60±25, 130±70 или 200±70 нм в зависимости от типа шлифовального диска.
В состав услуги возможно включить нанесение защитного покрытия на необрабатываемую поверхность пластины и его снятие после утонения. Защитное покрытие состоит из тонкого слоя фоторезиста и ленты-спутника толщиной 100 или 150 мкм на выбор.
В процессе утонения возможно достичь минимальной толщины пластины вместе с защитным покрытием для диаметра 76, 100 мм – 300 мкм и для 150 мм – 400 мкм. В результате обработки пластин возможно получить поверхности с шероховатостью (Ra) равной 10±5, 60±25, 130±70 или 200±70 нм в зависимости от типа шлифовального диска.
В состав услуги возможно включить нанесение защитного покрытия на необрабатываемую поверхность пластины и его снятие после утонения. Защитное покрытие состоит из тонкого слоя фоторезиста и ленты-спутника толщиной 100 или 150 мкм на выбор.